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半导体材料领域国外标准现状浅析
文献摘要：
半导体材料作为重要的战略性新材料,近几年在国家政策、市场需求的推动下得到了快速发展,但整体上仍然落后于国际先进水平.研究半导体材料领域国外标准有助于进一步支撑产业发展,本文分析了该领域的国际标准、国外先进标准的现状,并对普遍应用的SEMI标准进行了比对分析.
文献关键词：
半导体材料;国外标准;现状
中图分类号：
作者姓名：
杨素心
作者机构：
标准专利中心
文献出处：
引用格式：
[1]杨素心-.半导体材料领域国外标准现状浅析)[J].中国金属通报,2022(07):17-19
A类：
B类：
半导体材料,材料领域,国外标准,标准现状,现状浅析,下得,国际先进,国际标准,先进标准,SEMI,比对分析
AB值：
0.329102
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