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电子束增材制造聚焦消像散控制技术研究
文献摘要：
为解决电子束增材制造设备加工范围受限、大尺寸工件边缘加工精度下降等问题,对大偏角下电子束的散焦和像散进行研究.采用像差理论对电子束偏转过程中出现的束径增大、形状畸变现象进行分析.本研究搭建控制系统,动态调整聚焦线圈和消像散线圈的电流,即动态聚焦消像散.制作聚焦消像散校正表,使电子束在整个扫描区域内保持小束径.采用二次电子成像方法和EOG(能量梯度函数)评价函数验证校正效果.实验结果表明,动态聚焦消像散能够有效改善束斑质量,校正后电子束在12°偏转以内清晰成像,电子图像EOG值由0.81提升至1.
文献关键词：
电子束选区熔化;增材制造;动态聚焦;消像散
中图分类号：
作者姓名：
孙博彤;殷伯华;王鹏飞;刘俊标;韩立
作者机构：
中国科学院电工研究所微纳加工技术研究部,北京100190;中国科学院大学 电子电气与通信工程学院,北京100049
文献出处：
引用格式：
[1]孙博彤;殷伯华;王鹏飞;刘俊标;韩立-.电子束增材制造聚焦消像散控制技术研究)[J].热加工工艺,2022(21):117-121,126
A类：
像散校正
B类：
电子束增材制造,消像散,制造设备,大尺寸,工件,加工精度,偏角,散焦,像差,偏转,转过,形状畸变,变现,聚焦线圈,动态聚焦,二次电子,成像方法,EOG,能量梯度,梯度函数,评价函数,子图像,电子束选区熔化
AB值：
0.307785
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