典型文献
热等静压技术在高品质难熔金属靶材制备中的应用
文献摘要：
随着电子信息产业的快速发展,市场对靶材的质量提出了越来越高的要求.热等静压技术作为一种材料成形及特殊热处理方法,经过多年发展,己成为制备高品质靶材的重要手段.简要介绍了热等静压技术的发展、设备工作原理以及难熔金属靶材的性能要求.重点介绍了热等静压技术在高品质难熔金属Mo、W、Cr及其合金靶材制备中的应用,以及热等静压工艺对其微观组织及溅射性能的影响.
文献关键词：
热等静压;高品质靶材;纯度;难熔金属;致密度
中图分类号：
作者姓名：
吕周晋;车立达;吴战芳;李好峰;张鹏杰;何静;李向阳
作者机构：
钢研昊普科技有限公司,北京100081;中国钢研科技集团有限公司,北京100081
文献出处：
引用格式：
[1]吕周晋;车立达;吴战芳;李好峰;张鹏杰;何静;李向阳-.热等静压技术在高品质难熔金属靶材制备中的应用)[J].粉末冶金工业,2022(06):100-107,120
A类：
高品质靶材
B类：
热等静压,难熔金属,电子信息产业,对靶,热处理,性能要求,Mo,微观组织,溅射,致密度
AB值：
0.154151
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