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LED用蓝宝石平片湿法清洗研究
文献摘要：
目前的工业化生产中主要通过化学机械抛光来清洗平片,经过抛光后的平片表面布满悬挂键,表面活性高,极易吸引污染物.本文对LED用蓝宝石平片湿法清洗工艺展开研究,通过正交试验,研究清洗参数对蓝宝石平片良率、明缺和暗缺的影响.实验结果表明:当去离子水/双氧水/硫酸配比1∶1∶3.5、时间10min、温度110℃时,有着最好的清洗效果.使用优化后的清洗工艺参数,进行千片级的清洗验证,良率达到93％,表面残留颗粒降至5颗以内.本研究揭露了蓝宝石平片的相关清洗方法与参数,并进行了批量清洗验证,对后续工业化清洗提供了参考.
文献关键词：
图形化蓝宝石衬底(PSS);SPM;湿法清洗;正交试验
中图分类号：
作者姓名：
罗荣煌
作者机构：
福建中晶科技有限公司,福建龙岩,364101
文献出处：
引用格式：
[1]罗荣煌-.LED用蓝宝石平片湿法清洗研究)[J].电子元器件与信息技术,2022(06):22-24,28
A类：
千片
B类：
LED,平片,湿法清洗,工业化生产,化学机械抛光,布满,悬挂,表面活性,清洗工艺,艺展,良率,去离子水,双氧水,10min,清洗效果,使用优化,揭露,清洗方法,图形化,蓝宝石衬底,PSS,SPM
AB值：
0.315426
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