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典型文献
今天能否像研制"两弾一星"那样攻克光刻机?
文献摘要:
2018年,国内芯片制造商中芯国际花费超过1亿美元订购一款极紫外光刻机,之后因为美方阻挠而不可得.这一"半导体工业皇冠上的明珠"的重要性由此凸显.极紫外光刻机(EUV)能完成7纳米以下先进工艺的雕刻,荷兰的阿斯麦公司是这一类型光刻机的全球独家生产商.没有先进光刻机,就意味着华为先进制程的手机芯片难以制造.
文献关键词:
作者姓名:
杜玮
作者机构:
文献出处:
引用格式:
[1]杜玮-.今天能否像研制"两弾一星"那样攻克光刻机?)[J].中国新闻周刊,2022(20):58-61
A类:
独家生产
B类:
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AB值:
0.41803
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