典型文献
氮气流量对高功率脉冲磁控溅射CrNx/CrC复合镀层耐蚀性能的影响
文献摘要：
利用高功率脉冲磁控溅射(high power impulse magnetron sputtering,HiPIMS)在单晶硅和304不锈钢基底上制备了CrNx/CrC复合镀层,并通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)以及浸泡法对其形貌结构、 物相及耐蚀性能进行了分析,研究了氮气流量对CrNx/CrC复合镀层微观组织形貌和耐蚀性能的影响.结果表明:Cr靶在200 Hz、 占空比为6％的电场条件下可以形成稳态的高功率脉冲放电;CrNx/CrC复合镀层表面由不规则的球形颗粒堆积组成,均匀紧密;CrNx/CrC复合镀层呈柱状生长,且截面可明显观察到较明显的分层界面,分别是CrC层和CrNx层;受Ar+刻蚀作用减弱的影响,随着氮气流量的增加,CrNx/CrC复合镀层的厚度和平均沉积速率先略微增加,之后再明显减小;随着氮气流量的增加,CrNx/CrC复合镀层的致密度有所增加;当氮气流量为60 mL·min-1时,镀层晶柱的间距最小,且上下层结合最紧密,耐蚀性能最好.
文献关键词：
高功率脉冲磁控溅射;CrNx/CrC复合镀层;氮气流量;微观结构;耐蚀性能
中图分类号：
作者姓名：
向君;曹悦悦;梅屹峰;王卓然
作者机构：
西安理工大学, 陕西 西安 710054;西安理工大学材料学院, 陕西 西安 710054
文献出处：
引用格式：
[1]向君;曹悦悦;梅屹峰;王卓然-.氮气流量对高功率脉冲磁控溅射CrNx/CrC复合镀层耐蚀性能的影响)[J].中国材料进展,2022(07):573-577
A类：
CrNx,CrC
B类：
氮气流量,高功率脉冲磁控溅射,复合镀层,耐蚀性能,high,power,impulse,magnetron,sputtering,HiPIMS,单晶硅,不锈钢基,浸泡法,形貌结构,微观组织形貌,占空比,脉冲放电,球形颗粒,颗粒堆积,层呈,柱状,Ar+,刻蚀,沉积速率,略微,致密度,最紧
AB值：
0.180552
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