典型文献
半导体厂房的微震控制技术应用
文献摘要：
近几年,随着科学技术水平的快速发展以及电子产品准确度与精密度的不断提高,半导体厂房在其生产环境的设计上面临着十分严峻的挑战.本文主要针对现下新出现的微震控制技术在半导体厂房中的应用进行了深入的研究分析,希望对今后微震控制技术在其他各领域中的广泛应用提供更多的科研依据.
文献关键词：
半导体厂房;微震控技术;应用
中图分类号：
作者姓名：
汤亮;张凯
作者机构：
中国电子科技集团公司第五十八研究所;中国电子科技集团公司第二十研究所
文献出处：
引用格式：
[1]汤亮;张凯-.半导体厂房的微震控制技术应用)[J].装饰装修天地,2022(17):61-63
A类：
微震控技术
B类：
半导体厂房,电子产品,精密度,生产环境,上面,新出现,房中
AB值：
0.177677
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
