典型文献
二维动态显微镜的光学系统设计
文献摘要：
光电显微镜可实现线纹的自动对准,消除人工测量的主观性误差,具有速度快、效率高、重复性好、精度高的特点.为实现二维线纹的溯源测量,完成对十字刻线、圆形线纹等二维线纹的高分辨率瞄准,在一维动态光电显微镜的基础上,设计了应用于比长仪的二维动态光电显微镜光学系统,包括:物镜成像系统、照明系统、观察系统、分光系统.系统采用物方远心光路,消减由于物平面位置不准确所引起的测量误差;为适应不同线宽、线间距及特殊形状的线纹样板,设计结果:β=5倍、10倍、20倍,工作距5～20 mm,物方线视场2 y=0.2 mm,数值孔径NA=0.2,传递函数接近衍射极限.
文献关键词：
光学设计;二维线纹;光学狭缝;光电显微镜
中图分类号：
作者姓名：
路雨桐;冯大伟;向阳;刘永坤;吕思航
作者机构：
长春理工大学 光电工程学院,长春 130022
文献出处：
引用格式：
[1]路雨桐;冯大伟;向阳;刘永坤;吕思航-.二维动态显微镜的光学系统设计)[J].长春理工大学学报（自然科学版）,2022(05):38-43
A类：
光电显微镜,二维线纹,光学狭缝
B类：
光学系统设计,对准,人工测量,主观性,刻线,瞄准,比长仪,镜光,物镜,成像系统,照明系统,光系统,远心光路,消减,测量误差,同线,线宽,线间距,纹样,样板,视场,数值孔径,NA,传递函数,衍射极限,光学设计
AB值：
0.338699
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