典型文献
等离子体诊断用多层膜X射线成像光学研究进展
文献摘要：
发展精密X射线诊断技术对于惯性约束聚变(ICF)物理过程的研究具有重要意义.本文对同济大学精密光学工程技术研究所在高性能多层膜掠入射X射线光学方面的最新进展进行了较全面的介绍.针对ICF高时空分辨、能谱分辨和高集光效率诊断需求,从多通道掠入射X射线成像技术、多层膜掠入射X射线成像技术及应用效果几个方面,对目前研究进展进行了系统介绍.在多通道掠入射X射线成像方面主要介绍高分辨多通道KB成像系统及其高精度在线装调技术.在实现空间分辨优于5μm、十六通道成像的基础上,采用"物-诊断物镜-像"的高复位精度集成指示技术,有效保障了多通道KB系统的装置应用效果.在多层膜掠入射X射线成像方面,本文主要介绍多层膜分光器件的能谱调控和制备技术以及系统的精密瞄准技术.目前,多套基于多层膜阵列器件的多能谱X射线诊断设备已在激光装置上得到广泛应用,空间分辨率在3～5μm,诊断能点达到4个,技术指标显著优于国外同类器件,为国内ICF诊断提供了有力支撑.
文献关键词：
惯性约束聚变;等离子体诊断;多层膜;Kirkpatrick-Baez显微镜;高时空分辨
中图分类号：
作者姓名：
伊圣振;黄秋实;齐润泽;张众;王占山
作者机构：
同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所,先进微结构材料教育部重点实验室,上海市数字光学前沿科学研究基地,上海市全光谱高性能光学薄膜器件与应用专业技术服务平台,上海200092
文献出处：
引用格式：
[1]伊圣振;黄秋实;齐润泽;张众;王占山-.等离子体诊断用多层膜X射线成像光学研究进展)[J].光学精密工程,2022(21):2783-2792
A类：
B类：
等离子体诊断,多层膜,成像光学,诊断技术,惯性约束聚变,ICF,物理过程,同济大学,光学工程,掠入射,最新进展,高时空分辨,光效,多通道,技术及应用,KB,成像系统,线装,装调技术,六通,物镜,复位,分光器件,制备技术,瞄准,多套,阵列器件,诊断设备,上得,空间分辨率,技术指标,标显,国外同类,Kirkpatrick,Baez
AB值：
0.334447
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