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中红外波段超广角抗反射微纳结构的研究
文献摘要：
采用时域有限差分法(FDTD)设计了一种具有超广角中红外波段减反射Si材料亚波长周期微纳结构,实现了在超广角(15°～80°)斜入射时大幅提高减反射性能.使用控制变量法分析了亚波长结构的周期、结构高度、底端直径和顶端直径对反射率的影响,并剖析结构参数对宽带和宽角度的影响机理.通过仿真计算研究表明:区别于传统的减反射结构,四棱台结构在中红外波段超广角入射时可以保持较低的反射率,平均反射率低至1％左右,最低可至0.01％,为超广角宽带抗反射结构的设计提供了新的设计方案.
文献关键词：
超广角;中红外波段;抗反射;亚波长结构;时域有限差分法
中图分类号：
作者姓名：
张艺馨;张亢;林鹤;吴锦双;沈思彤;付跃刚
作者机构：
长春理工大学 光电工程学院,长春 130022;中国空间技术研究院西安分院,西安 710000;中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都 601209;长春理工大学 光电测控与光信息传输技术教育部重点实验室,长春 130022
文献出处：
引用格式：
[1]张艺馨;张亢;林鹤;吴锦双;沈思彤;付跃刚-.中红外波段超广角抗反射微纳结构的研究)[J].长春理工大学学报（自然科学版）,2022(03):35-40
A类：
B类：
中红外波段,超广角,抗反射,微纳结构,时域有限差分法,FDTD,减反射,Si,长周期,斜入射,反射性,使用控制,控制变量法,亚波长结构,底端,端直,顶端,反射率,宽带,仿真计算,棱台
AB值：
0.250161
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