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螺旋型天线螺旋波等离子体特性研究
文献摘要：
为提高等离子体密度和工质气体电离率,本文采用螺旋天线产生的螺旋波激励Ar等离子体,并利用射频补偿Langmuir探针分析了等离子体的离子密度和电子温度特征.试验结果表明,气压增加的同时,随着功率的升高,螺旋波等离子体出现放电模式转换,提前进入螺旋波放电模式.在1.0 Pa压强下,当射频功率达到400 W时,等离子体进入螺旋波放电模式,此时扩展区域的等离子体密度超过1×1018m-3.电子密度在放电管中心区域最高,并沿径向逐渐降低.本文的研究结果将为大体积H2螺旋波等离子体提供依据和经验.
文献关键词：
螺旋波等离子体;模式转换;诊断;电子密度
中图分类号：
作者姓名：
付唯;汤栋;陈建军;陈波;叶宗标;芶富均;张坤
作者机构：
成都大学机械工程学院,成都610106;四川大学原子核科学技术研究所,成都610064
文献出处：
引用格式：
[1]付唯;汤栋;陈建军;陈波;叶宗标;芶富均;张坤-.螺旋型天线螺旋波等离子体特性研究)[J].四川大学学报（自然科学版）,2022(02):133-139
A类：
1018m
B类：
螺旋型,螺旋波等离子体,等离子体特性,等离子体密度,气体电离,螺旋天线,Ar,Langmuir,离子密度,电子温度,温度特征,放电模式,模式转换,Pa,射频功率,功率达,展区,电子密度,放电管,中心区,大体积,H2
AB值：
0.301645
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