典型文献
基于VIS光振荡器的飞秒激光直写三维微/纳米光刻技术
文献摘要:
本文研究了有机-无机混合预聚物SZ2080TM在不借助任何光引发剂的情况下,使用~100 fs振荡器在517 nm波长和76 MHz重复频率下的飞秒激光直写(一种精密3D打印技术,也称为双光子聚合光刻技术).实验证明了该技术的可行性,并成功地生产出了三维柴堆形纳米结构、微支架、自由形式的微型物体"Benchy"和微立方体.本文创新点为:非放大激光系统仅提供40~500 pJ的单个脉冲就能够在横截面数百纳米内诱导局域交联反应.证明了放大激光器的高脉冲能量和低重复率不是构造非光敏化聚合物的必需条件.本文对于理解激光驱动的纳米三维增材制造具有重要意义,拓宽了不使用光引发剂条件下的应用领域,如微光学、纳米光子学和生物医学.
文献关键词:
激光直写;双光子聚合;多光子光刻技术;3D打印;增材制造;SZ2080TM;微结构;纳米技术
中图分类号:
作者姓名:
Antanas BUTKUS;Edvinas SKLIUTAS;Darius GAILEVIČIUS;Mangirdas MALINAUSKAS
作者机构:
Laser Research Center,Faculty of Physics,Vilnius University,Vilnius LT-10223,Lithuania
文献出处:
引用格式:
[1]Antanas BUTKUS;Edvinas SKLIUTAS;Darius GAILEVIČIUS;Mangirdas MALINAUSKAS-.基于VIS光振荡器的飞秒激光直写三维微/纳米光刻技术)[J].中南大学学报(英文版),2022(10):3270-3276
A类:
SZ2080TM,柴堆,微型物体,Benchy,多光子光刻技术
B类:
VIS,振荡器,飞秒激光直写,纳米光刻,预聚物,光引发剂,fs,MHz,重复频率,打印技术,双光子聚合,纳米结构,立方体,创新点,激光系统,pJ,横截面,数百,局域,交联反应,激光器,脉冲能量,重复率,光敏化,激光驱动,增材制造,不使用,微光,纳米光子学,纳米技术
AB值:
0.293224
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