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典型文献
CVD、PVD成膜技术在液晶显示器制造中的应用分析
文献摘要:
液晶显示器主要是通过对玻璃基板表面电路化形成TFT和CF基板,并结合液晶、偏光片进行成盒组装制作。基板表面的电路主要通过镀膜、涂胶、曝光、显影、刻蚀、剥离等工序制作而成。其中液晶显示行业常见的镀膜主要分为三种,即化学气相成积(Chemical Vapor Deposition,CVD)、物理气相成积(Physical Vapor Deposition,PVD)及黄光涂胶成膜,本文将重点探讨CVD和PVD技术在液晶显示器制造中的应用分析。
文献关键词:
液晶显示;CVD;PVD
作者姓名:
沙双庆
作者机构:
深圳莱宝高科技股份有限公司 广东 深圳 518000
文献出处:
引用格式:
[1]沙双庆-.CVD、PVD成膜技术在液晶显示器制造中的应用分析)[J].数字化用户,2022(24):113-115
A类:
B类:
CVD,PVD,成膜,膜技术,液晶显示器,玻璃基板,TFT,CF,偏光片,镀膜,涂胶,曝光,刻蚀,即化,Chemical,Vapor,Deposition,理气,Physical
AB值:
0.341199
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