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晶圆厂安全生产风险分析和风险管控
文献摘要：
我国的半导体公司的起步时间较迟,传统的工业领域安全风险管理不适用于晶圆厂,其设备的特殊性,亟需形成完备的晶圆厂安全管理体系.在芯片制造领域,安全风险多,涉及方面广,需要进行系统的风险分析和风险管控,将安全生产风险降到最低,建立晶圆厂风险管理体系势在必行.本文分析了晶圆厂生产中存在的安全风险,并制定了晶圆厂安全风险管控的应对措施.
文献关键词：
晶圆厂;风险管控;风险管理
中图分类号：
作者姓名：
杨柳青;戴玉飞
作者机构：
中国科学院合肥物质科学研究院 中国科学技术大学
文献出处：
引用格式：
[1]杨柳青;戴玉飞-.晶圆厂安全生产风险分析和风险管控)[J].中国科技投资,2022(17):32-34
A类：
安全生产风险分析
B类：
晶圆厂,工业领域,安全风险管理,安全管理体系,芯片制造,制造领域,面广,风险管理体系,安全风险管控
AB值：
0.175739
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