典型文献
适用于TEM原位表征的双温区密封腔芯片研制
文献摘要：
基于透射电子显微镜的原位表征技术是研究低维电子材料的先进技术方法.虽然该技术已有许多发展,但在透射电子显微镜中原位观察化学气相生长过程一直存在困难,其中一项重要挑战就是如何在电镜真空腔体中构建微区高压气氛反应环境.研制了一种适用于透射电子显微镜的双温区密封腔芯片,该芯片的两个加热区可模拟蒸发和生长条件,有助于实现在透射电镜中直接观察低维材料的生长及结构动态演化过程.还通过有限元方法仿真了芯片的温度分布、测试了芯片气密性,并装配到透射电子显微镜样品杆中进行验证.实验结果表明,该芯片可实现在透射电镜中可控加热并观察低维材料的结构演化,能有效拓展原位透射电子显微技术的应用范围.
文献关键词：
原位透射电子显微学;密封腔加热芯片;微纳加工;热阻效应
中图分类号：
作者姓名：
谢君;李嘉嘉;卢子煜;朱炯昊;贺龙兵;孙立涛
作者机构：
东南大学电子科学与工程学院,江苏 南京210096
文献出处：
引用格式：
[1]谢君;李嘉嘉;卢子煜;朱炯昊;贺龙兵;孙立涛-.适用于TEM原位表征的双温区密封腔芯片研制)[J].传感技术学报,2022(12):1591-1597
A类：
原位透射电子显微学,密封腔加热芯片
B类：
TEM,双温,温区,透射电子显微镜,原位表征技术,电子材料,先进技术,原位观察,相生,生长过程,存在困难,空腔,腔体,微区,压气,反应环境,热区,生长条件,透射电镜,中直,直接观察,低维材料,动态演化过程,有限元方法,温度分布,气密性,配到,结构演化,电子显微技术,微纳加工,热阻效应
AB值：
0.30135
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