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钽材在真空蒸镀设备中的应用
文献摘要：
真空蒸镀设备作为有机发光二极管(OLED)面板制程的"心脏",目前完全依赖进口.该文简述真空蒸镀工艺原理及蒸镀设备中钽蒸发源的国内现状,分析制约我国真空蒸镀设备中钽蒸发源发展的关键因素,如钽材纯度、钽蒸发源加工及钽材焊接等,指出,目前高纯度钽材的生产、复杂形状的钽蒸发源成形及有效的焊接方法成为国内制造真空蒸镀设备用钽蒸发源急需突破的技术壁垒.
文献关键词：
真空蒸镀;钽蒸发源;高纯度钽材;钽材焊接;钽材加工
中图分类号：
作者姓名：
程静静;段彪王;李宁
作者机构：
西安优耐特容器制造有限公司,西安 710201
文献出处：
引用格式：
[1]程静静;段彪王;李宁-.钽材在真空蒸镀设备中的应用)[J].科技创新与应用,2022(26):190-192
A类：
钽蒸发源,钽材焊接,高纯度钽材,钽材加工
B类：
真空蒸镀,有机发光二极管,OLED,制程,工艺原理,国内现状,复杂形状,焊接方法,内制,备用,技术壁垒
AB值：
0.153587
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