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电容式静力水准系统的研制及测试
文献摘要：
为了满足粒子加速器中垂直位置变化的高精度监测需求,该文研制了电容式静力水准系统,并对其进行指标验证和标定试验.测试结果表明,静力水准系统样机量程可达12 mm,分辨率最高可达1 μm,重复性高于0.26％,线性度高于0.45％,长时间的测试结果验证了系统性能.后期将从数据拟合方法和温度补偿2个方面继续优化测量精度.
文献关键词：
粒子加速器;沉降测量;高精度;电容式静力水准系统;温度补偿
中图分类号：
作者姓名：
李朝阳;汤建军;亓信同;朱瑞;孙彬
作者机构：
安徽创谱仪器科技有限公司,安徽合肥230088
文献出处：
引用格式：
[1]李朝阳;汤建军;亓信同;朱瑞;孙彬-.电容式静力水准系统的研制及测试)[J].中国新技术新产品,2022(19):4-8
A类：
电容式静力水准系统
B类：
粒子加速器,指标验证,标定试验,样机,量程,线性度,系统性能,数据拟合,拟合方法,温度补偿,优化测量,测量精度,沉降测量
AB值：
0.203504
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