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薄膜压力传感器温度灵敏度补偿工艺研究
文献摘要：
利用光刻技术制作压力传感器温度灵敏度补偿电阻图形,以纯度99.99％的镍为靶材,采用溅射的原理,将镍原子溅射到工件上,最后形成薄膜补偿电阻.测试薄膜电阻值,根据公式计算出补偿电阻的阻值,通过激光调阻机将电阻值调到理论计算值,进行压力传感器的补偿试验.结果表明,采用溅射薄膜的补偿电阻精度优于传统的电阻元器件补偿结果,温度灵敏度补偿精度可以达到0.003％F.S,优于传统的补偿精度.
文献关键词：
薄膜;压力传感器;温度灵敏度
中图分类号：
作者姓名：
潘婷;蔺露
作者机构：
陕西电器研究所 陕西 西安 710061
文献出处：
引用格式：
[1]潘婷;蔺露-.薄膜压力传感器温度灵敏度补偿工艺研究)[J].科学与信息化,2022(15):111-113
A类：
激光调阻机
B类：
薄膜压力传感器,温度灵敏度,利用光,光刻技术,技术制作,靶材,射到,工件,薄膜电阻,电阻值,公式计算,调到,理论计算值,溅射薄膜,元器件
AB值：
0.249308
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