典型文献
大束流离子注入机常见故障分析与维修
文献摘要：
应用材料(AMAT)9500注入机是当前国内半导体6吋线、8吋线主流大束流机型,占据着重要地位.介绍大束流9500注入机的基本结构及工作原理,并结合实际分析和探讨注入机常见故障提出多种维修措施,为相关人员提供故障维修依据.
文献关键词：
注入机;故障;维修
中图分类号：
作者姓名：
唐红跃;宋宁;曾烊生;陈贤杰
作者机构：
华东光电集成器件研究所,安徽蚌埠 233030
文献出处：
引用格式：
[1]唐红跃;宋宁;曾烊生;陈贤杰-.大束流离子注入机常见故障分析与维修)[J].设备管理与维修,2022(13):47-48
A类：
AMAT
B类：
束流,流离,离子注入机,常见故障分析,应用材料,机型,基本结构,结构及工作原理,分析和探讨,维修措施,故障维修
AB值：
0.305427
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