典型文献
电子敏感CMOS部件除气方法
文献摘要：
电子轰击有源像素传感器(electron bombarded active pixel sensor,EBAPS)作为真空-固体混合型微光器件,其性能和工作寿命一定程度上取决于器件内部真空度保持情况.分析造成EBAPS器件真空度下降的原因,推断出真空度恶化的严重后果,提出提高和保持EBAPS器件内部真空度的手段,通过搭建超高真空除气系统对EBAPS器件中核心部件电子敏感CMOS部件的放气特性进行了研究,并根据研究结果得到最佳的除气工艺参数,为EBAPS数字化微光器件的制备提供了技术基础.
文献关键词：
电子轰击有源像素传感器;电子敏感CMOS;放气特性;除气工艺
中图分类号：
作者姓名：
李桐桐;肖超;焦岗成;闫磊;樊海波;马靖;李成林
作者机构：
微光夜视技术重点实验室,陕西西安 710065;昆明物理研究所,云南昆明 650223
文献出处：
引用格式：
[1]李桐桐;肖超;焦岗成;闫磊;樊海波;马靖;李成林-.电子敏感CMOS部件除气方法)[J].应用光学,2022(06):1181-1186
A类：
电子轰击有源像素传感器,EBAPS,除气工艺
B类：
CMOS,electron,bombarded,active,pixel,sensor,混合型,微光,光器件,工作寿命,真空度,推断出,严重后果,超高真空,真空除气,气系统,核心部件,放气特性,技术基础
AB值：
0.245528
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