典型文献
等离子体光学加工关键技术研究现状
文献摘要：
等离子体加工技术是近年来发展起来的先进光学制造技术,具有快速缓解或去除传统光学加工方法导致的表面/亚表面损伤,以及高效、高精度和高分辨率修整光学面形的优势.从等离子体光学加工基本原理出发,基于等离子体激发频率与特征对发生器进行了简要叙述;进一步对各研究机构在等离子体加工技术涉及的射流特性、界面物化反应、损伤去除机理、去除函数、加工热效应和工艺定位等关键技术研究内容及成果进行分析,并对等离子体的新型光学加工技术进行介绍.随着研究的不断深入,构建多物理场和化学反应综合作用下的等离子体加工模型,揭示表面等离子体特性分布与去除函数的内在联系,从而建立准确的去除函数模型,是提高修形精度的发展方向,研究热效应控制方法和补偿策略在降低由热效应带来的修形误差方面起到了重要作用.
文献关键词：
先进光学制造;等离子体加工;等离子体发生器;去除函数;热效应
中图分类号：
作者姓名：
焦培琦;辛强;吴湘;吴永前;范斌;陈强
作者机构：
中国科学院大学 光电技术研究所,四川 成都 610209
文献出处：
引用格式：
[1]焦培琦;辛强;吴湘;吴永前;范斌;陈强-.等离子体光学加工关键技术研究现状)[J].应用光学,2022(03):359-374
A类：
先进光学制造
B类：
光学加工,关键技术研究,等离子体加工,加工技术,制造技术,加工方法,亚表面损伤,修整,等离子体激发,激发频率,射流特性,去除机理,去除函数,热效应,多物理场,化学反应,工模,表面等离子体,等离子体特性,函数模型,修形,补偿策略,等离子体发生器
AB值：
0.256264
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
