典型文献
基于激光加工的阶梯梁式微压电振动能量采集器
文献摘要：
利用波长1 064 nm光纤激光加工设备,制备了不同有效长度压电悬臂梁锆钛酸铅(PZT)压电振动能量采集器.研究了该PZT-Cu压电悬臂梁能量采集器的应力分布以及频率-电压关系,探讨了不同PZT布置长度对能量采集器的谐振频率、输出电压、最优负载以及归一化能量密度的影响.仿真分析结果显示,压电材料的宽度、压电层厚度以及悬臂梁总长均会对能量转换效率产生影响.因此进一步改进压电悬臂梁微压电能量采集器的结构设计,从而提高能量转化效率,并进行了实验验证.实验结果表明,PZT沿径向布置长度约为7 mm(即PZT布置长度/悬臂梁总长=7/32)时,该压电能量采集器能量转化效率最优,与仿真结论基本吻合.研究结果为压电能量采集器的结构优化提供了一种可靠的方案.
文献关键词：
压电能量采集器;微电子机械系统(MEMS);激光加工工艺;锆钛酸铅(PZT);悬臂梁
中图分类号：
作者姓名：
林琳;王保志;赖丽燕;李以贵
作者机构：
上海应用技术大学理学院,上海 201418;上海应用技术大学电气与电子工程学院,上海 201418
文献出处：
引用格式：
[1]林琳;王保志;赖丽燕;李以贵-.基于激光加工的阶梯梁式微压电振动能量采集器)[J].微纳电子技术,2022(11):1169-1176
A类：
B类：
式微,微压,压电振动能量采集器,光纤激光,加工设备,同有,有效长度,压电悬臂梁,锆钛酸铅,PZT,应力分布,谐振频率,输出电压,最优负载,能量密度,压电材料,总长,能量转换效率,压电能量采集器,高能量,能量转化效率,效率最优,微电子机械系统,MEMS,激光加工工艺
AB值：
0.177091
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