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具有莫尔纹结构的PDMS微纳褶皱模板的制备
文献摘要：
具有莫尔纹结构的微纳模板对手性结构的自组装制备具有重要的意义.提出了一种制备大面积具有手性莫尔纹结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)微纳褶皱模板的方法,该方法操作简单且易于重复.实验中以商用数字化视频光盘(DVD)作为基础模板,在PDMS基片上预先复制DVD光栅结构,然后通过氧等离子体的处理,使受到氧化作用的PDMS表面杨氏模量增加,利用软硬膜层间的机械不稳定性诱导新的类光栅褶皱出现,通过调整两种光栅之间的夹角即可形成莫尔纹结构.实验表明在PDMS拉伸比为15％、等离子体功率13 W、气压0.2mbar(1 bar=105 Pa)、处理时间60s时,可有效制备莫尔角度覆盖±15°～±90°的莫尔纹模板.该方法可以实现厘米级具有莫尔纹结构微纳模板的制作,并且不需要采用刻蚀等微纳加工手段,有望对人工微纳手性结构的低成本制备提供新的思路.
文献关键词：
莫尔纹;微纳模板;聚二甲基硅氧烷(PDMS);光栅;手性
中图分类号：
作者姓名：
杨典哲;岳鹏;廉岚淇;赵文娟;刘绍鼎
作者机构：
太原理工大学新型传感器与智能控制教育部重点实验室,太原 030024
文献出处：
引用格式：
[1]杨典哲;岳鹏;廉岚淇;赵文娟;刘绍鼎-.具有莫尔纹结构的PDMS微纳褶皱模板的制备)[J].微纳电子技术,2022(09):945-951
A类：
微纳模板,2mbar
B类：
莫尔纹,PDMS,褶皱,手性结构,自组装,聚二甲基硅氧烷,商用,光盘,DVD,基片,光栅结构,氧化作用,杨氏模量,硬膜,膜层,机械不稳,性诱,夹角,拉伸比,Pa,处理时间,60s,厘米,刻蚀,微纳加工
AB值：
0.252063
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