典型文献
基于侧面DLP的3D打印技术制作微流控芯片
文献摘要：
微流控芯片的关键技术是内部封闭管道的制备,其中一步打印出微流控芯片及接口尤为重要.基于数字光处理(DLP)技术提出了一种新型的侧面曝光打印技术,并利用4F光路以及运动系统完成平台搭建.该3D打印系统的投影图像分辨率为12.5μm,靶面约为16 mm×10 mm.相比常用的上曝光或下曝光3D打印技术,其容易消除气泡且装置简单.通过对封闭管道打印机制分析及实验优化,可实现直径400 μm的圆形或边长400 μm的方形等封闭管道打印.为验证侧面曝光打印平台打印微流控芯片的可行性,设计具有一体化封闭管道和接口的模型进行打印测试,40 min可以打印一个6 mm厚的微流控芯片,管道打通率为100％.结果表明该平台可用于快速制作微流控芯片,未来可用于微流控及微纳制造领域.
文献关键词：
3D打印;微流控芯片;数字光处理(DLP)技术;侧面曝光打印技术;微纳制造
中图分类号：
作者姓名：
陈晓霞;龙妍婷;张楚;赵飞;李闯;吴小婷;王冲;陈翔
作者机构：
上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,上海 200240;微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海 200240
文献出处：
引用格式：
[1]陈晓霞;龙妍婷;张楚;赵飞;李闯;吴小婷;王冲;陈翔-.基于侧面DLP的3D打印技术制作微流控芯片)[J].微纳电子技术,2022(05):437-444
A类：
侧面曝光打印技术
B类：
DLP,技术制作,微流控芯片,闭管,印出,数字光处理,4F,光路,运动系统,成平,平台搭建,打印系统,投影图,图像分辨率,除气,气泡,打印机,机制分析,实验优化,边长,方形,快速制作,微纳制造,制造领域
AB值：
0.270271
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