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感应耦合等离子体喷涂工作参数对涂层性能影响的实验研究
文献摘要：
感应耦合等离子体(ICP)由于无电极烧蚀污染、等离子体环境纯净,在制备高纯度陶瓷材料涂层上具有明显的技术优势.该文利用自主研制的感应耦合等离子体喷涂设备,开展碳化硼涂层制备的实验研究.并利用发射光谱仪和高速相机,对放电气体中加入氢气后的等离子体特性进行诊断.通过在等离子体放电气体中加入不同比例的氢气,研究等离子体工作参数对涂层性能的影响.采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和X射线荧光(XRF)分析了涂层的微观结构、物相和成分情况.结果表明,在放电气体中加入氢气会导致等离子体的宏观气体温度升高,从而提高喷涂粉末的表面熔融率;在放电气体中加入0.7L/min氢气时,制备的涂层结合强度最大,而且等离子体制备过程不会改变碳化硼的晶体结构.通过对比研究,得到最优化的制备参数,为该自主技术的工艺参数摸索提供重要的实验依据.
文献关键词：
感应耦合等离子体;氢气;放电气体;碳化硼涂层
中图分类号：
作者姓名：
詹志华;王春华;周秋娇;刘成周;赵鹏
作者机构：
合肥工业大学电子科学与应用物理学院 合肥 230601;中国科学院合肥物质研究院等离子体所 合肥 230031;中国科学院深圳先进技术研究院 深圳 440305
文献出处：
引用格式：
[1]詹志华;王春华;周秋娇;刘成周;赵鹏-.感应耦合等离子体喷涂工作参数对涂层性能影响的实验研究)[J].电工技术学报,2022(11):2725-2732
A类：
碳化硼涂层,等离子体工作参数
B类：
感应耦合等离子体,等离子体喷涂,涂层性能,ICP,无电,电极烧蚀,等离子体环境,纯净,高纯度,陶瓷材料,自主研制,喷涂设备,涂层制备,发射光谱,光谱仪,高速相机,放电气体,氢气,等离子体特性,等离子体放电,XRF,气体温度,涂粉,熔融,7L,结合强度,制备过程,晶体结构,制备参数,数摸
AB值：
0.269267
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