典型文献
先进微纳加工与测试平台超净化实验室环境系统设计综述
文献摘要：
西湖大学先进微纳加工与测试平台(以下简称"微纳平台")依托工学院筹建,是西湖大学六个校级科研平台之一,秉承"顶尖、科学、经济"的理念,旨在打造由顶尖实验设备和优秀技术人才组建而成的先进微纳器件加工和微纳结构表征的大型仪器共享服务平台.简述了微纳平台超净化实验室系统工艺设计原则、理念、内容和方案,为后期西湖大学云谷校区的平台建设以及其他高校科研院所的微纳平台建设提供了相关参照.
文献关键词：
先进微纳加工与测试平台;超净化实验室;环境系统设计;公用工程
中图分类号：
作者姓名：
朱俭峰
作者机构：
西湖大学
文献出处：
引用格式：
[1]朱俭峰-.先进微纳加工与测试平台超净化实验室环境系统设计综述)[J].洁净与空调技术,2022(01):71-79
A类：
先进微纳加工与测试平台,超净化实验室,环境系统设计
B类：
实验室环境,西湖,工学院,筹建,校级,科研平台,顶尖,实验设备,技术人才,微纳器件,微纳结构,结构表征,大型仪器,仪器共享,共享服务平台,实验室系统,工艺设计,校区,高校科研,科研院所,公用工程
AB值：
0.276403
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