典型文献
InSb红外探测器钝化前清洗工艺研究
文献摘要：
对InSb红外探测器钝化前清洗工艺进行了研究.在传统清洗方法的基础上增加专用清洗液进行清洗,以优化钝化前InSb材料的表面质量.飞行时间二次离子质谱仪(Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry,TOF-SIMS)质谱检测表明,增加专用清洗液清洗工艺后,InSb材料表面的Si杂质浓度降低了约85％,主要有机物杂质浓度降幅约为30％～60％,表面整体杂质含量显著降低.经流片验证,增加专用清洗液进行钝化前表面清洗,Ⅰ-Ⅴ性能更优,InSb光伏芯片的长期可靠性显著提高.这说明钝化前InSb材料的表面质量对InSb红外探测器的性能和可靠性具有重要影响.本文提供的钝化前清洗优化方向具有一定的指导意义.
文献关键词：
InSb;表面清洗;飞行时间二次离子质谱仪;可靠性
中图分类号：
作者姓名：
程雨
作者机构：
华北光电技术研究所,北京100015
文献出处：
引用格式：
[1]程雨-.InSb红外探测器钝化前清洗工艺研究)[J].红外,2022(10):16-22
A类：
B类：
InSb,红外探测器,钝化,前清,清洗工艺,清洗方法,清洗液,表面质量,飞行时间二次离子质谱仪,Time,Flight,Secondary,Ion,Mass,Spectrometry,TOF,SIMS,质谱检测,Si,杂质浓度,杂质含量,流片,表面清洗,优化方向
AB值：
0.272017
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