典型文献
国外MEMS计量测试技术研究现状及借鉴
文献摘要：
随着体积小、精度高、智能化的MEMS器件得到越来越多的应用,MEMS计量测试技术的研究越来越重要.为了进一步提高和完善我国MEMS计量测试技术,介绍了国外多个机构和组织的MEMS计量规划和技术现状,梳理了先进的MEMS计量测试技术研究工作,指明了在哪些方面需要借鉴国外先进的研究经验和成果.可以帮助国内研究者了解国内外MEMS计量测试技术研究现状,进而促进我国MEMS计量测试技术的发展.
文献关键词：
计量学;微机电系统;测试;标准
中图分类号：
作者姓名：
李雷;张慧;沙长涛;张红
作者机构：
中国电子技术标准化研究院,北京100176
文献出处：
引用格式：
[1]李雷;张慧;沙长涛;张红-.国外MEMS计量测试技术研究现状及借鉴)[J].计测技术,2022(01):18-25
A类：
B类：
MEMS,计量测试,测试技术,体积小,量规,技术现状,哪些方面,国内研究,微机电系统
AB值：
0.19793
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