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小微气体流量计量技术的应用
文献摘要：
小微气体流量测量技术广泛应用于航空航天、半导体加工、医疗生物、电子汽车等行业.随着气体小流量测试技术研究的深入,高精度、高可靠的气体小流量标准装置也不断发展.依据层流元件的结构特性可以看出,层流流量计作为标准表也越来越受计量检测单位的重视,其精度高、耐高压、体积小、结构简单、系统装置操作简易,是一个高精度、范围宽的小微气体流量标准装置.已研制成功的基于层流技术的小微气体流量标准装置在国内首次形成便携的小微气体流量计量技术能力.
文献关键词：
小微气体流量测量;气体流量计;气体流量标准装置;计量技术;层流技术
中图分类号：
作者姓名：
张靓;陆春;孙国杰;佘彬杰;张慧剑
作者机构：
南通市计量检定测试所,南通市 226011
文献出处：
引用格式：
[1]张靓;陆春;孙国杰;佘彬杰;张慧剑-.小微气体流量计量技术的应用)[J].仪器仪表与分析监测,2022(02):15-17
A类：
小微气体流量测量
B类：
气体流量计,流量计量,计量技术,测量技术,航空航天,小流量,流量测试,测试技术,高可靠,结构特性,流流,标准表,计量检测,耐高压,体积小,结构简单,气体流量标准装置,研制成功,层流技术,技术能力
AB值：
0.242591
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