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管式PECVD反应室流场仿真优化及应用研究
文献摘要：
利用Star-CCM流体仿真软件,按照常规工艺参数,对管式等离子增强化学气相沉积(PECVD)设备反应室腔体进行三维建模仿真,研究搭载不同结构石墨舟的反应室腔体内部流场分布,结合仿真数据,分组实验验证镂空石墨舟块对镀膜均匀性的影响.实验结果表明:镂空舟块能有效改善石墨舟的舟中及舟尾舟片间的气流分布,提高薄膜生长的均匀性.
文献关键词：
PECVD;反应室;石墨舟;流场动力仿真;镀膜均匀性
中图分类号：
作者姓名：
周佑丞;张春成;赵志然;谭瞻;王锦;成秋云
作者机构：
湖南红太阳光电科技有限公司,湖南 长沙410000;国家光伏装备工程技术中心,湖南 长沙410000;中国电子科技集团第四十八研究所,湖南 长沙410000
文献出处：
引用格式：
[1]周佑丞;张春成;赵志然;谭瞻;王锦;成秋云-.管式PECVD反应室流场仿真优化及应用研究)[J].有色设备,2022(02):52-55
A类：
流场仿真优化,镀膜均匀性,流场动力仿真
B类：
管式,PECVD,反应室,Star,CCM,流体仿真,照常,等离子增强化学气相沉积,腔体,三维建模,建模仿真,搭载,石墨舟,内部流场,流场分布,仿真数据,分组实验,镂空,气流分布,薄膜生长
AB值：
0.319452
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