典型文献
还原炉倒棒原因及改进措施研究
文献摘要：
还原炉作为生产多晶硅的关键设备,生产多晶硅过程中常常出现倒棒现象,对还原炉产生严重损坏,重点针对硅棒沉积前期、中期、后期三个阶段倒棒的危害、原因进行分析,从还原炉喷嘴分布和大小、电极结构、石墨卡头结构、硅芯尺寸等方面进行改进,有利于降低还原炉硅棒倒棒率,提高生产效率,降低对还原炉设备的损坏.
文献关键词：
还原炉;沉积;倒棒
中图分类号：
作者姓名：
李有斌;陈叮琳;俞朝
作者机构：
青海黄河水电公司新能源分公司;青海省新能源材料与储能技术重点实验室 青海 西宁 810007
文献出处：
引用格式：
[1]李有斌;陈叮琳;俞朝-.还原炉倒棒原因及改进措施研究)[J].中国石油和化工标准与质量,2022(03):47-49
A类：
倒棒
B类：
还原炉,原因及改进措施,措施研究,多晶硅,关键设备,喷嘴,电极结构,硅芯
AB值：
0.212557
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
