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二碘硅烷合成与应用研究进展
文献摘要：
介介绍了二碘硅烷性质,叙述了包括以硅烷与碘化氢、以苯基硅烷与碘、硅和碘化氢或硅和氢/碘为原料、二氯硅烷、二苯硅烷和碘化氢为原料的合成制备方法,以及其应用领域.认为随着半导体工业的发展,二碘硅烷作为新的硅前驱体材料将发挥越来越重要的作用;以苯硅烷原料路线和二氯氢硅为原料的工艺路线,具有一定的工业化前景.
文献关键词：
二碘硅烷;硅烷;碘
中图分类号：
作者姓名：
黄明星;杨海波;姚晓艳;郑佳
作者机构：
浙江巨化技术中心有限公司,国家氟材料工程技术研究中心,浙江 衢州 324004
文献出处：
引用格式：
[1]黄明星;杨海波;姚晓艳;郑佳-.二碘硅烷合成与应用研究进展)[J].化工生产与技术,2022(04):14-16
A类：
二碘硅烷,碘化氢
B类：
合成与应用,苯基,二氯,氯硅烷,合成制备,制备方法,前驱体,工艺路线
AB值：
0.174205
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