典型文献
大尺寸ITO靶材的制备及其密度影响因素的研究
文献摘要：
为制备大尺寸高密度ITO靶材,采用冷等静压及常压高温烧结的方法,制备了尺寸为1500 mm的ITO靶材,同时研究了ITO粉末的松装密度、冷等静压压力、烧结温度和保温时间等因素对靶材密度的影响.结果表明:当ITO粉末松装密度较大及粉体颗粒较小时,所制备的靶材相对密度更高;在冷等静压压力300 MPa、烧结温度1580℃、保温时间20 h的条件下,制备靶材的相对密度可达99.71％.表明上述工艺可以实现尺寸为1500 mm的大尺寸ITO靶材的制备,并且靶材相对密度较高.
文献关键词：
ITO靶材;烧结;冷等静压;高密度;大尺寸
中图分类号：
作者姓名：
刘文杰;钟小华;李帅;童培云;朱刘
作者机构：
先导薄膜材料(广东)有限公司,广东 清远 511500
文献出处：
引用格式：
[1]刘文杰;钟小华;李帅;童培云;朱刘-.大尺寸ITO靶材的制备及其密度影响因素的研究)[J].材料研究与应用,2022(03):389-392
A类：
B类：
大尺寸,ITO,靶材,冷等静压,常压,高温烧结,松装密度,压压,烧结温度,保温时间,对靶,粉体颗粒,相对密度
AB值：
0.207569
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