典型文献
高频电路防护的氟碳化合物等离子气相沉积技术
文献摘要：
电子装备小型化、阵列化的发展趋势,引领着印制电路组件的工作频段向着微波、毫米波频段扩展.敷形涂层作为印制电路抵御环境腐蚀能力的重要组成部分,其适用频段也亟需提高.基于此,开展了氟碳化合物作为高频电路敷形防护涂料的应用研究,通过理论分析、样件试验的手段,验证了氟碳化合物通过等离子气相沉积可在高频电路表面形成均匀致密且不影响其电气性能的防护涂层.同时,通过与有机硅、派瑞林等传统高频涂料的性能进行对比,进一步证明,氟碳化合物等离子气相沉积,是高频电路敷形防护的一种有效手段.
文献关键词：
氟碳化合物;敷形防护;等离子气相沉积;高频电路
中图分类号：
作者姓名：
张婧亮;胡雅婷;陶莲娟
作者机构：
中国电子科技集团公司第二十九研究所,四川 成都 610036
文献出处：
引用格式：
[1]张婧亮;胡雅婷;陶莲娟-.高频电路防护的氟碳化合物等离子气相沉积技术)[J].电子工艺技术,2022(04):204-207
A类：
等离子气相沉积,敷形涂层,敷形防护
B类：
高频电路,氟碳化合物,沉积技术,电子装备,小型化,印制电路,毫米波频段,防护涂料,样件,成均,电气性能,防护涂层,有机硅
AB值：
0.170639
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