典型文献
等离子体化学气相沉积法制备致密性超浸润纳米硅氟薄膜
文献摘要：
以含氟丙烯酸酯功能单体和硅烷为原料、无水乙醇为溶剂、氩气为工艺气体,经等离子体化学气相沉积在表面绝缘阻抗(SIR)测试板和无尘布上制得硅氟薄膜.探讨了硅烷种类和用量、含氟单体用量对镀硅氟薄膜试件性能的影响.结果表明,采用γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(KH 570)、γ-氨丙基三乙氧基硅烷(KH 550)和乙烯基三甲氧基硅烷(A171)的镀硅氟薄膜SIR测试板的静态水接触角分别为136.0°、135.6°和135.7°,摩擦200次后分别下降了7.5°、10.2°和11.9°,通电时间分别为30 min、5 min和3 min,表面粗糙程度逐渐降低;随着KH 570用量由0.2份增加到5份,镀硅氟薄膜SIR测试板的通电时间从8 min逐渐延长至33 min;随着含氟单体用量从78份升至93份,镀硅氟薄膜无尘布的静态水接触角从126°升至154°.硅烷选择KH 570较佳,KH 570的较佳用量为2份,含氟丙烯酸酯功能单体的较佳用量为90份,此时镀硅氟薄膜SIR测试板的静态水接触角为136.0°,通电时间为30 min.
文献关键词：
等离子体;化学气相沉积法;硅烷;致密性;硅氟薄膜
中图分类号：
作者姓名：
吕伟桃;毛静静;梁宸;李嘉惠;莫德禧;元德侃
作者机构：
佛山市思博睿科技有限公司, 广东佛山528200
文献出处：
引用格式：
[1]吕伟桃;毛静静;梁宸;李嘉惠;莫德禧;元德侃-.等离子体化学气相沉积法制备致密性超浸润纳米硅氟薄膜)[J].有机硅材料,2022(01):11-16
A类：
硅氟薄膜,无尘布,A171
B类：
等离子体化学气相沉积,化学气相沉积法,致密性,超浸润,纳米硅,含氟丙烯酸酯,功能单体,无水乙醇,氩气,工艺气体,绝缘阻抗,SIR,含氟单体,体用,试件,丙基,KH,乙烯基三甲氧基硅烷,水接触角,别下,通电,表面粗糙,较佳
AB值：
0.178952
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