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反射镜面形三坐标白光扫描检测精度研究
文献摘要：
检测与评价是保障遥感器光学镜面各加工阶段面形精度的必要条件.在镜面加工的铣磨、研磨、粗抛阶段,由于面形偏差及粗糙度过大,通常采用三坐标接触式测量法来测量评价面形质量从而指导面形加工,但检测效率低.文章阐述了一种基于三坐标测量机的新的、非接触式光学检测方法——三坐标白光扫描,同时对该检测方法的扫描参数、反射镜表面反射率是否影响检测精度开展了实验研究,并与三坐标接触式测量法进行了精度比对.研究表明白光扫描检测精度不受扫描参数及反射镜表面反射率的影响,且与接触式三坐标测量法精度基本相当,同时提高检测效率80％以上.
文献关键词：
面形偏差;白光共聚焦;扫描速度;反射率;检测精度;遥感器
中图分类号：
作者姓名：
罗小葵;孙海洋;张宁;董书岳;马玉洋
作者机构：
北京空间机电研究所,北京 100094
文献出处：
引用格式：
[1]罗小葵;孙海洋;张宁;董书岳;马玉洋-.反射镜面形三坐标白光扫描检测精度研究)[J].航天返回与遥感,2022(03):51-59
A类：
B类：
反射镜,镜面,检测精度,检测与评价,遥感器,面形精度,铣磨,研磨,面形偏差,粗糙度,接触式测量,测量法,测量评价,面形质量,检测效率,三坐标测量机,非接触式,光学检测,扫描参数,反射率,精度比对,明白,高检,白光共聚焦,扫描速度
AB值：
0.323602
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