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话说微电子工业洁净室的节能(1)——合理确定洁净室设计参数
文献摘要：
经历了 50多年的创业,中国的微电子工业获得巨大发展,相关从业人员得到培训和锻炼,为继续提高质量、补全短板创建了基础.降低能耗、提高能效是发展微电子工业的重要方面.本文从合理确定洁净室设计参数方面漫谈了些许经验;就合理降低洁净室的送风量,创建局部净化等洁净微环境以缩减高洁净要求的面积,改善局部排风效果、减少空气渗漏,以及合理确定洁净室内的温湿度参数等问题提出了一些建议.
文献关键词：
微电子工业;洁净室;节能;微环境;局部排风;正压控制;室内参数
中图分类号：
作者姓名：
涂光备;涂有
作者机构：
天津大学,天津;天津仁爱学院,天津
文献出处：
引用格式：
[1]涂光备;涂有-.话说微电子工业洁净室的节能(1)——合理确定洁净室设计参数)[J].暖通空调,2022(11):42-49
A类：
B类：
微电子工业,工业洁净室,合理确定,设计参数,提高质量,补全,降低能耗,高能效,漫谈,些许,送风量,微环境,高洁,局部排风,渗漏,温湿度,正压控制,室内参数
AB值：
0.252446
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