典型文献
聚氨酯/炭黑微孔膜的制备及其在化学机械抛光中的应用
文献摘要:
采用PU/DMF/H2O湿法交换技术,制备聚氨酯/炭黑(PU/CB)复合微孔膜,探究浆料中的CB添加量对PU/CB微孔膜的形态结构与性能的影响.通过化学机械抛光测试(CMP),对比自制抛光垫(H-CP)与国产抛光垫(CH-1)的抛光性能.结果表明:当CB添加量为9%,PU/CB的耐磨性达到0.0058 g/3500r,其拉伸强度4.49 MPa,并具有一定的导热性.去除速率(RR)与粗糙度变化(ΔRa)结果表明,H-CP比CH-1具有更优异的稳定性和抛光性能.
文献关键词:
聚氨酯;炭黑;相转化;耐磨性;导热性能;化学机械抛光
中图分类号:
作者姓名:
冯见艳;刘丽成;李鹏妮;陈浩聪;相红旗;罗晓民
作者机构:
陕西科技大学轻工科学与工程学院,陕西西安710021;桐乡市质量技术监督事务中心,浙江桐乡314599;宁波赢伟泰科新材料有限公司,浙江余姚315410;宁波江丰电子材料股份有限公司,浙江余姚315400
文献出处:
引用格式:
[1]冯见艳;刘丽成;李鹏妮;陈浩聪;相红旗;罗晓民-.聚氨酯/炭黑微孔膜的制备及其在化学机械抛光中的应用)[J].塑料科技,2022(05):47-52
A类:
B类:
聚氨酯,炭黑,微孔膜,化学机械抛光,PU,DMF,H2O,湿法,交换技术,CB,浆料,形态结构,结构与性能,CMP,抛光垫,CP,CH,抛光性能,耐磨性,3500r,拉伸强度,去除速率,RR,粗糙度,Ra,相转化,导热性能
AB值:
0.365685
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