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四甲基氢氧化铵溶液中阴离子含量检测方法
文献摘要：
提出了一种对低浓度四甲基氢氧化铵溶液中氟离子、氯离子、溴离子、亚硝酸根离子、硝酸根离子、硫酸根离子和磷酸根离子含量的检测方法.TMAH溶液稀释质量浓度为2.38％,经在线浓缩处理,离子色谱仪检测,该方法六种阴离子的检出限21～109 ng/L,定量限70～360 ng/L,线性相关系数>0.999,5.0μg/L加标回收率98％～128％.该方法对TMAH溶液中常见的六种阴离子组分检测结果良好,可满足半导体及面板行业用TMAH溶液的检测需求.
文献关键词：
四甲基氢氧化铵;离子色谱;无机阴离子
中图分类号：
作者姓名：
高一鸣;郝萍;李春华
作者机构：
上海市计量测试技术研究院
文献出处：
引用格式：
[1]高一鸣;郝萍;李春华-.四甲基氢氧化铵溶液中阴离子含量检测方法)[J].上海计量测试,2022(05):17-19
A类：
B类：
四甲基氢氧化铵,离子含量,含量检测,氟离子,氯离子,溴离子,亚硝酸根离子,硫酸根离子,磷酸根离子,TMAH,浓缩处理,离子色谱仪,六种,检出限,定量限,线性相关系数,加标回收率,离子组分,分检,无机阴离子
AB值：
0.269531
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