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薄膜热电偶温度传感器研究进展
文献摘要：
信息科技的飞速发展对温度的精准测量提出了更高的要求,这在很大程度上推动力温度传感器的进展.薄膜热电偶由于其响应迅速快、无源、准确度高、测试环境影响小等优势,在测量温度方面的运用空间较为广泛.近几年,有大量资料对薄膜热电偶的研究进展做出了综述,并获得了实质性的进展,这对薄膜热电偶温度传感器的长远、稳定发展起到了非常重要的推动作用.对此,本文主要在此基础上对薄膜热电偶温度传感器的研究和发展现状进行综述,并重点讲述了其关键技术问题,以及对此类温度传感器今后发展的展望.
文献关键词：
薄膜热电偶;温度传感器;研究进展
中图分类号：
作者姓名：
张培
作者机构：
国家知识产权局专利局专利审查协作北京中心,北京100081
文献出处：
引用格式：
[1]张培-.薄膜热电偶温度传感器研究进展)[J].模型世界,2022(18):37-39
A类：
B类：
薄膜热电偶,热电偶温度传感器,信息科技,精准测量,无源,测试环境,测量温度
AB值：
0.132376
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