典型文献
基于磁控溅射技术的柔性传感器在健康监测中的应用
文献摘要：
磁控溅射镀膜法有膜-基贴合度好、溅射薄膜均匀度好、溅射速率快等优点,用其制备的柔性传感器有较高的灵敏度.文章简述了磁控溅射技术的发展状况及工作原理,介绍了敏感材料的种类,总结了几种常用的聚合物材料和纺织材料基底,并分别对其制备的柔性传感器的优缺点进行了分析.
文献关键词：
磁控溅射;柔性传感器;健康检测;聚合物;纺织材料
中图分类号：
作者姓名：
朱圆圆;于淼
作者机构：
青岛大学纺织服装学院,山东青岛266000
文献出处：
引用格式：
[1]朱圆圆;于淼-.基于磁控溅射技术的柔性传感器在健康监测中的应用)[J].印染,2022(11):69-73
A类：
B类：
磁控溅射技术,柔性传感器,健康监测,镀膜,膜法,贴合,溅射薄膜,均匀度,射速,敏感材料,聚合物材料,纺织材料,健康检测
AB值：
0.264822
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