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共价键合光致产酸剂的单分子树脂光刻胶:合成及光刻性能
文献摘要：
设计合成了一种共价键合光致产酸剂(PAG)的单分子树脂(molecular glass)材料HPS-MSF,该材料具有良好的热稳定性和成膜性.以该单分子树脂为主体材料,四甲氧基甲基甘脲(TMMGU)为交联剂进行配方,制备得到负型单分子树脂光刻胶.通过254 nm紫外曝光初步研究了光刻胶的配方、后烘及显影条件.进一步利用电子束光刻对该负型光刻胶进行评价,当TM-MGU添加量为15％或30％时,在曝光剂量分别为140 μC/cm2和110 μC/cm2时,均可以得到线宽为150 nm,周期300 nm的光刻条纹.
文献关键词：
单分子树脂;光刻胶;电子束光刻;光致产酸剂
中图分类号：
作者姓名：
张卫杰;陈金平;于天君;曾毅;李嫕
作者机构：
中国科学院理化技术研究所,光化学转换与功能材料重点实验室,北京100190;中国科学院大学,北京100049
文献出处：
引用格式：
[1]张卫杰;陈金平;于天君;曾毅;李嫕-.共价键合光致产酸剂的单分子树脂光刻胶:合成及光刻性能)[J].影像科学与光化学,2022(02):211-219
A类：
光致产酸剂,单分子树脂,TMMGU
B类：
共价键合,光刻胶,设计合成,PAG,molecular,glass,HPS,MSF,热稳定性,成膜性,主体材料,甲氧基,交联剂,负型,紫外曝光,电子束光刻,曝光剂量,线宽,条纹
AB值：
0.245897
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