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多晶硅生产中精馏工艺优化研究
文献摘要：
在新的能源和资讯工业中,多晶硅是重要的原料.改进西门子工艺是目前最成熟、应用最广泛的一种工艺.目前,世界上大部分的多晶硅工厂都在使用改进的西门子方法来制造太阳、电子化多晶硅,这是一种能源消耗较高的技术.通过对三氯化硅精馏工艺和废气再循环蒸馏工艺的优选,得到了满足各个工艺条件下的最佳工艺条件.通过对目前的情况进行对比,可以明显减少能源消耗,节约设备投入和运行成本.
文献关键词：
多晶硅;生产过程;精馏工艺;工艺优化
中图分类号：
作者姓名：
张学武
作者机构：
新特能源股份有限公司,新疆 乌鲁木齐 830011
文献出处：
引用格式：
[1]张学武-.多晶硅生产中精馏工艺优化研究)[J].中国战略新兴产业,2022(17):135-138
A类：
资讯工业
B类：
多晶硅生产,精馏工艺,工艺优化研究,西门子,子方,电子化,能源消耗,三氯,化硅,废气再循环,蒸馏工艺,工艺条件,最佳工艺,运行成本
AB值：
0.239382
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