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感应等离子制备喷涂靶材用球化钽粉工艺研究
文献摘要：
采用感应等离子技术对喷涂靶材用钽粉进行球化处理,以不规则冶金级钽粉为实验原料,研究了等离子气体流量 、等离子功率、载气流量和送粉速率对钽粉球化率的影响.使用扫描电子显微镜(SEM)对粉末形貌进行表征,并采用Image J软件图像处理与分析方法进行粉末球化率测试.结果表明,感应等离子工艺参数的变化可以显著改变粉体球化率,当使用气体流量适当增加、等离子功率增加、载气流量适当降低、送粉速率降低时有利于粉末化率的提高,当优选的球化工艺为氢气流量PG3、等离子功率15 kW、载气流量CG3、送粉速率FR2时,可得到高品质球形钽粉.
文献关键词：
感应等离子;球化率;钽粉;溅射靶材
中图分类号：
作者姓名：
庞小肖;原慷;彭浩然;张鑫
作者机构：
矿冶科技集团有限公司,北京100160;北京市工业部件表面强化与修复工程技术研究中心,北京102206;北矿新材科技有限公司,北京102206
文献出处：
引用格式：
[1]庞小肖;原慷;彭浩然;张鑫-.感应等离子制备喷涂靶材用球化钽粉工艺研究)[J].有色金属工程,2022(08):1-8
A类：
冶金级钽粉,PG3
B类：
感应等离子,喷涂,等离子技术,球化处理,等离子气体,气体流量,载气流量,送粉速率,球化率,粉末形貌,Image,粉体,粉末化,氢气流量,kW,CG3,FR2,溅射靶材
AB值：
0.267536
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